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日本一手价格 ULVAC 爱发科低温泵CRYO-U系列 CRYO-U4H/CRYO-U6H/CRYO-U8H 高抽速有助于提高抽气效率和生产率

2024-07-22 15:39:32 周海峰

低温泵

CRYO-U系列

CRYO-U4H

CRYO-U6H

CRYO-U8H

CRYO-U8H-U

CRYO-U8HL

CRYO-U8HSP

CRYO-U10H

CRYO-U10HSP

CRYO-U12H

CRYO-U12HL

CRYO-U12HSP

CRYO-U16

CRYO-U16P

CRYO-U20P

CRYO-U20H

CRYO-U22P

CRYO-U22WB

CRYO-U22H

CRYO-U30H

ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。

CRYO-U4H

特征

4 型低温泵提供最佳的排气特性。

高抽速有助于提高抽气效率和生产率。

特别适用于半导体制造设备和小型设备中的溅射工艺。

一台压缩机最多可运行 4 台泵。

我们可以根据您的应用设计和制造产品。

规格

抽速（20℃）	氮	L/s	450
	氢		500
	氩		370
	水		1,100
极限压力	帕		10 ^-7
最大流量	氩	Pa・L/s	1.3× ¹⁰³
排气量	氩	Pa・L	1.0×10 ⁷
排气量	氢	Pa・L	1.5× ¹⁰⁵
冷却时间	分钟(50/60Hz)		45/50
质量		公斤	14.5

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