真空用压电陶瓷直线电机
VPDM-6.5ACTR
VPDM-6.5ACT
VPDM-13ACTR
VPDM-13ACT
可实现远程操作的高分辨率小型直线驱动器。安装尺寸和常用微分头有互换性。
详情
◦推杆直径有标准φ9.5mm和小型φ6mm两种。
◦推杆端面有平面（VPDM-**ACT）和球面（VPDM-**ACTR）两种。
信息
▶压电陶瓷直线电机需配合专用控制器（PDM-ID-02)使用。
▶压电陶瓷直线电机本身带有1m长真空用绝缘导线，用于在真空腔体内连接到外接端子上或直接从腔体内引出。另附带有一根1m长专用电缆，用于在真空腔体外将压电陶瓷直线电机绝缘导线连接到控制器。
注意
▶本产品采用的是压电陶瓷结构的，惯性摩擦驱动原理、所以，没有明确的定位精度值，或精准的步进量。而且，每个产品的特性会有差异。运动方向不同，速度和最小步进量等也会变化。
▶ 如希望替换，改造您手头现有的手动平台等的微分头等，欢迎来信咨询。
▶ 如果同时购买平台的话，下订单时告诉我们，可安排组装后出货。和某些平台等组合使用时，也许需要改造或更改部分零部件。更多细节请来信具体确认。
VPDM-6.5ACT 技术指标
端面形状 平面
行程 6.5mm以上(最大13mm)
最小位移量 30nm以下
驱动力 13N
最大移动速度 1.5mm/min
自重 0.02kg
