崛场 HORIBA 在线型溶解臭氧监测仪 OZ-96i

在线型溶解臭氧监测仪 OZ-96i
(制造商：HORIBA Advanced Techno,Co.,Ltd. )

概要
监测半导体制造工艺中清洗、形成氧化膜等作业中所使用的臭氧水浓度。它是直接安装在主配管中、可以进行连续监测的臭氧水浓度监测仪。不需要用旁通管路来进行检测。本产品通过臭氧发生装置以及对使用点进行近似测量。
特点
可以安装在线内
可以选择3种配管直径
可以设定任意值的传送输出
可以切换小数点以下位数
零点稳定性
小巧的传感器尺寸
0.5Mpa的耐压性
远程零点校正功能
在接液部材质方面使用PFA/熔凝石英玻璃/PTFE

外形尺寸图
●转换器 OZ-96i


●传感器 CZ-10i/40i/100i/200i/300i


面板截面尺寸


规格 测量对象
纯水中的臭氧浓度
测量原理
UV吸收法(254nm)
测量范围
CZ-10i：0¿10mg/L CZ-40i：0¿40mg/L CZ-100i：0¿100mg/L CZ-200i：0¿200mg/L CZ-300i：0¿300mg/L
再现性
全刻度的±2%以内
稳定性
零点飘移：全刻度±0.05%/天以内
传送输出
DC4¿20mA或者0¿16mA 隔离输入输出型　最大负荷电阻600Ω
传送输出范围
测量范围的-10%到+110%之间的任意值
触点输出
3ch a接点输出
电容：DC24V、1Amax(电阻负荷)
根据上限/下限/FAIL/UV LOW报警分配功能
报警延迟时间设定：校正/重置选择时0¿60秒保持
远程零点校正判定信号：零点校正如果正常，当零点校正指令被输入时接点被关闭。
接点输入
接收到零点校正指令后立即开始校正。信号接收时间保持处理
附加功能
零点校正、全幅灵敏度校正、全幅检验、信号水平检验功能
周围温度湿度
5¿40℃　85%RH或更低 (样品配管如果有冷凝物时请予以清除。)
电源
DC24V15W
转换器构造
面板安装固定型：DIN96×96
室内安装型 外盒：SUS304　
面板：ABS
外形尺寸
转换器：96(H)×96(W)×145(D) mm 检测器：80(H)×159(W)×154(D) mm　(不包括突起部)
质量
转换器：约700g　
检测器：约2kg
样品条件
压力：0.5MPa以内
流量：1/2英寸：10L/min 3/4英寸：40L/min 1英寸：100L/min
检测器
光源结构：低压水银灯
检测器：硅光电池
接液部材质：PFA/熔凝石英/PTFE
样品配管
标准：PFA3/4英寸 可选件：1/2英寸¿1英寸管
空气排空入口
Φ6管　流量100mL/min
附件
专用电缆线：ZK-05　标准5m，　可选件3m、10m、20m
消耗品
低压水银灯：寿命2年(保修1年)