压电阀 PV 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)
概要
它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。
通过金属封口方式实现了超低泄漏
不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制
技术规格 PV-1000 流量量程 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) 流量控制范围 全标度的2¿100% 阀门方式 常开/关闭型 控制输入1 0¿5VDC 响应性 0.5秒以内 使用温度 0¿50℃ 使用压力 最大值.300kPa 耐压 1MPa 泄漏规格 5×10-12Pa¿m3(He)
PV-2000 流量量程 10/20 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) 流量控制范围 全标度の2¿100% 阀门方式 常开/关闭型 控制输入1 0¿5VDC 响应性 0.5秒以内 使用温度 0¿50℃ 使用压力 最大值.300kPa 耐压 1MPa 泄漏规格 5×10-12Pa¿m3(He)
外形尺寸（单位：mm）
PV-1000 PV-2000 A 25.0±1 32.0±1 B 118.5±2 125.5±2 C 14.0 16.75 D 42.0 47.5
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)
概要
它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。
通过金属封口方式实现了超低泄漏
不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制
技术规格 PV-1000 流量量程 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) 流量控制范围 全标度的2¿100% 阀门方式 常开/关闭型 控制输入1 0¿5VDC 响应性 0.5秒以内 使用温度 0¿50℃ 使用压力 最大值.300kPa 耐压 1MPa 泄漏规格 5×10-12Pa¿m3(He)
PV-2000 流量量程 10/20 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) 流量控制范围 全标度の2¿100% 阀门方式 常开/关闭型 控制输入1 0¿5VDC 响应性 0.5秒以内 使用温度 0¿50℃ 使用压力 最大值.300kPa 耐压 1MPa 泄漏规格 5×10-12Pa¿m3(He)
外形尺寸（单位：mm）
PV-1000 PV-2000 A 25.0±1 32.0±1 B 118.5±2 125.5±2 C 14.0 16.75 D 42.0 47.5
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