崛场 HORIBA 数字式质量流量控制器 SEC-Z500

多量程/多气体
数字式质量流量控制器 SEC-Z500 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
通用型高端型号
概要 适用多气体/多量程 高精度：保证±1.0% S.P.(设置点) 高速响应：满量程1秒以内(T98) 搭载有可变 PID 适用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列) 小型尺寸：适于面间距离 106mm、1.125inch(英寸)气体面板、到50SLM同一面间距离的106mm 超清洁类型：接气部采用全不锈钢构造，其内面进行研磨标准处理 和模拟MFC之间的完全互换：与数字/模拟通信相对应(SEC-Z512MG/Z522MG) 适用于DeviceNet¿接口(SEC-Z514/Z524MG)
技术规格 型 式 SEC(质量流量控制器) Z512MG (DeviceNet¿ 模式： Z514MG) Z522MG (DeviceNet¿ 模式： Z524MG) SEF- (质量流量计) Z512MG (DeviceNet¿ 模式： Z514MG) Z522MG (DeviceNet¿ model: Z524MG) 气体接触部材质 SUS316L、内面研磨处理标准 阀门型号 NO:非通电时 开； NC:非通电时； 关闭 标准流量量程 (N2相应F.S.) #01: 30/#1.5: 55/#02: 100/#2.5: 175/#03: 300/#3.5: 550 SCCM #04: 1/#4.5: 1.75/#05: 3/#5.5: 5.5/#06: 10 SLM #07: 30/#08: 50 SLM (N2,H2,Ar,O2) ＊2 流量控制范围 2¿100% F.S. 响应速度 1秒以内 (T98) 流量精度＊1 ±1.0%S.P.以内(25¿100%F.S.) ±0.25%F.S.以内(2¿25%F.S.) 直线性 ±0.5% F.S. 重复稳定性 ±0.2% F.S. 工作差压值 50¿300kPa (d) #5.5 and #06 100¿300kPa(d) #07: 200¿300kPa(d)
#08： 200(阀门C)/250(阀门 O)¿300kPa(d) 最大工作压力 450 kPa (G) 耐压 1MPa(G) 外部泄漏率 5×10-12Pa¿m3/s (He) 使用环境温度 5¿50℃ 流量设定信号 数字 ： RS-485 (F-Net 协议) DeviceNet¿ ： (SEC-Z514MG/Z524MG)
模拟 ： 0.1¿5VDC (输入阻抗1MΩ以上) 流量输出信号 数字 ： RS-485 (F-Net 协议) DeviceNet¿ ： (SEC-Z514MG/Z524MG)
模拟 ： 0¿5VDC (最小负荷电阻2kΩ) 驱动电源 ＋15V ±5% 150mA ¿15V ±5% 150mA DeviceNet¿ :
遵照 ODVA 标准 (额定值 24VDC (11 to25VDC) 4VA 标准接头多量程/多气体
数字式质量流量控制器 SEC-Z500 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)

确保±1.0% S.P.(设置点)的精度
通过采用多项式近似曲线进行高度的补偿，实现了全流量控制域中流量精度的高精度化。
并且，使用高精度流量标准系统，测量多种工艺用气体流量，力求提高实际气体的流量精度。
流量精度
(标准F.S.流量量程)
±1.0% S.P. 　： 25¿100% F.S. ±0.25% F.S. 　： 2¿25% F.S.
利用多项式近似曲线进行高度的补偿

　



y=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f
SEC-Z500 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)


满量程1秒以内(T98) 搭载有可变 PID(正在申请专利)

搭载了新开发的可变PID，实现了满量程１秒以内的高速响应。可变PID可根据设定流量的变位连续地改变PID系数。
由于不必根据流量的变化量、气体种类设定固定PID系数，所以在全标度流量¿气体种类的变更后也实现了高速响应性。
SEC-Z500 0→2%F.S.响应特性
全标度变更前
把全标度向25％变更后



多量程/多气体
数字式质量流量控制器
SEC-Z500 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)


适用多气体/多量程

它可以由用户进行气体种类的变更及全标度流量的变更。为了帮助用户变更技术规格，我们特准备了专用的软件。您不必从气体面板以及配管中拆卸质量流量控制器就可以变更技术规格。并且，作为服务措施，该型号还可以向客户提出有关由客户进行管理并减少MFC库存和降低成本¿时间的建议。



1/4”VCR 类型或者集成气体面板法兰