崛场 HORIBA 液体微小质量流量计控制器 LF-FLV-F

液体微小质量流量计/控制器 LF-F/LV-F 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
概要 通过采用数字回路，实现了高精度¿高速响应。 可以进行微升以上的微小流量控制。 可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。 超洁净类型
液体微小质量流量计/控制器
LF-F/LV-F 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)



技术规格
名称 质量流量计 型号 LF-F20M-A LF-F30M-A LF-F40M-A LF-F50M-A LF-F60M-A 全标度流量(g/min) 0.02/0.05/0.1 0.2/0.5 1/2/5 10/20 50/100 检测控制范围 5¿100% F.S. 对象液体种类 *1 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 液体粘度 *2 最大值. 0.1 Pa·s (100cp) 精度 *3 ±1% F.S. 直线性 *3 ±0.5% F.S. 重复性 *3 ±0.5% F.S. 响应精度 3秒以内 (T98) 2秒以内 (T98) 使用环境温度 *4 5¿50℃ (15 ¿ 45℃精度的确保) 温度影響 Span ±0.1%F.S./℃　最大值±1% 工作差压值值 *5 最大值. 5MPa (视为流量计) / 50¿300kPa (with piezo 控制阀) 耐压 10MPa (视为流量计) 压力損失 最大值. 500Pa 流量设定信号 模拟：0.25¿5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) 流量输出信号 模拟：0¿5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) 驱动电源 +15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA 外部泄漏规格 5×10-12Pa·m3/s (He) 接液部材质 SUS316L, Ni 标准接头 1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型



名称 质量流量控制器 型号 LV-F20 (PO/MO) LV-F30 (PO/MO) LV-F40 (PO/MO) LV-F50 (PO/MO) LV-F60 (PO/MO) 全标度流量(g/min) 0.02/0.05/0.1 0.2/0.5 1/2/5 10/20 50/100 检测控制范围 5¿100% F.S. 对象液体种类 *1 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 液体粘度 *2 最大值. 0.01 Pa·s (10cp) 精度 *3 ±1% F.S. 直线性 *3 ±0.5% F.S. 重复性 *3 ±0.5% F.S. 响应精度 3秒以内 (T98) 2秒以内 (T98) 使用环境温度 *4 5¿50℃ (15 ¿ 45℃精度的确保) 温度影响Span ±0.1%F.S./℃　最大值±1% 工作差压值 *5 0.05¿0.3MPa 耐压 1MPa 压力损失 ー 流量设定信号 模拟：0.25¿5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) 流量输出信号 模拟：0¿5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) 驱动电源 +15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA 外部泄漏规格 PO 类型：1×10-8Pa¿m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa¿m3/s (He) 接液部材质 PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 类型： SUS316L，Ni 标准接头 1/16” 液体微小质量流量计/控制器 LF-F/LV-F 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)

外形尺寸（单位：mm）
LF-F series


模式 H T W I (1/4 VCR) I
(1/4 SWL) I
(1/8 VCR) I
(1/8SWL) I
(1/16SWL) I
(1/16 Special) A B C D E LF-F20M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F30M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F40M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F50M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F60M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17
LV-F series


模式 H T W I
(1/4 VCR)
I
(1/4 SWL)
I
(1/8 VCR)
I
(1/8 SWL)
I
(1/16 SWL)
I
(1/16 Special)
A B C D E LV-F20 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F30 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F40 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F50 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F60 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17
， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型

1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 1/4” SWL类型 1/4” VCR 类