在线气体浓度计 IR-150
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
概要
在线气体监测仪 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型红外吸收法)的半导体气体浓度监测仪。
它可以在线检测用于化合物半导体制造工艺的液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固体以及液体材料中发生气化的气体浓度。
特点
最适于MOCVD用液体,固体材料气体的浓度管理
实现了与MFC相等的操作通用性和价格统一性。
在线实时检测浓度。
配备有安全探测安全系统(SDSS)，支持将来的300mm全自动晶圆生产。
系统中包括浓度、压力的报警，和报警输出。
小巧、可随意安装设置，不需要选择空间
具备超群的性价比，最适于生产线中的浓度管理。
规格 型号
IR-150
对象气体
TMAl, TMGa, TMIn,DEZn
校正气体
C3H8
测量浓度
7%/1%
测量方式
红外线分析法(NDIR法)
检测单元长度
5mm/50mm
再现性
±2%FS
响应性
40sec(T90) Typical 20sec
外形尺寸图 (mm)
使用环境¿用途¿优点
最适于MOCVD用液体¿固体材料生产线的浓度管理，实现了与 MFC同等的操作通用性和价格。
使用环境
GaAｓ设备以面向手机方面的需求为主，其市场不断扩大，预计在卫星广播、卫星通信气体、地面基站间通信系统、高速网络、以及毫米波带中的用途今后还会进一步增加。
光设备的CD/MD、CD-ROM、DVD运用半导体激光等需求也正在急速扩大。在化合物半导体元件制造中，一般是MOCVD以及MBE的外延成长。
用途
在MOCVD以及MOVPE等中，在气缸内对TMAI、TMGa、TMIn、DEZn等固体和液体材料进行加温气化，供应给Use-Point。
在气缸内被加温的材料气体有可能因为气缸的温度和压力、以及材料的余量不同而出现浓度变化。
膜厚变动会给元件特性带来很大影响，为了尽可能减少这种影响，材料浓度的稳定也是其中重要的因素，这就需要对浓度进行监测。
在线气体监测的必要性
在半导体制造工艺中液体材料的増加
↓
通过液体材料气体的载气流量控制直接气化供应，在发泡供应中，由于蒸气压力变化，供应浓度将会发生变化。
↓
产生气体实时浓度监测的必要性
浓度回馈控制的愿望
优点
通过In-situ可以实时进行浓度检测。
小巧、可随意安装，不必选择设置空间。
具有超群的性价比，最适于生产线中的浓度管理。
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
概要
在线气体监测仪 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型红外吸收法)的半导体气体浓度监测仪。
它可以在线检测用于化合物半导体制造工艺的液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固体以及液体材料中发生气化的气体浓度。
特点
最适于MOCVD用液体,固体材料气体的浓度管理
实现了与MFC相等的操作通用性和价格统一性。
在线实时检测浓度。
配备有安全探测安全系统(SDSS)，支持将来的300mm全自动晶圆生产。
系统中包括浓度、压力的报警，和报警输出。
小巧、可随意安装设置，不需要选择空间
具备超群的性价比，最适于生产线中的浓度管理。
规格 型号
IR-150
对象气体
TMAl, TMGa, TMIn,DEZn
校正气体
C3H8
测量浓度
7%/1%
测量方式
红外线分析法(NDIR法)
检测单元长度
5mm/50mm
再现性
±2%FS
响应性
40sec(T90) Typical 20sec
外形尺寸图 (mm)
使用环境¿用途¿优点
最适于MOCVD用液体¿固体材料生产线的浓度管理，实现了与 MFC同等的操作通用性和价格。
使用环境
GaAｓ设备以面向手机方面的需求为主，其市场不断扩大，预计在卫星广播、卫星通信气体、地面基站间通信系统、高速网络、以及毫米波带中的用途今后还会进一步增加。
光设备的CD/MD、CD-ROM、DVD运用半导体激光等需求也正在急速扩大。在化合物半导体元件制造中，一般是MOCVD以及MBE的外延成长。
用途
在MOCVD以及MOVPE等中，在气缸内对TMAI、TMGa、TMIn、DEZn等固体和液体材料进行加温气化，供应给Use-Point。
在气缸内被加温的材料气体有可能因为气缸的温度和压力、以及材料的余量不同而出现浓度变化。
膜厚变动会给元件特性带来很大影响，为了尽可能减少这种影响，材料浓度的稳定也是其中重要的因素，这就需要对浓度进行监测。
在线气体监测的必要性
在半导体制造工艺中液体材料的増加
↓
通过液体材料气体的载气流量控制直接气化供应，在发泡供应中，由于蒸气压力变化，供应浓度将会发生变化。
↓
产生气体实时浓度监测的必要性
浓度回馈控制的愿望
优点
通过In-situ可以实时进行浓度检测。
小巧、可随意安装，不必选择设置空间。
具有超群的性价比，最适于生产线中的浓度管理。
日本崛场 HORIBA广州代理商,崛场 HORIBA广州总代理,藤野贸易广州有限公司代理
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