日本SIGMA KOKI西格玛光机精密（压电陶瓷）平台SFS-60YAW(OP)
特征：
SFS 系列平台是我们最新开发的，利用了弹性变形和压电陶瓷驱动件的超精密定位平台。其中，有部分产品内置了位移传感器可以实现闭环控制，可以实现20nm 的分辨率，90µm 行程，320µm 的手动粗调。
我们采用了无空行程的金属弹性变形机构，以及5-6 倍的压电陶瓷变形放大机构。并采用我公司的超精密加工技术进行生产制造。
注意
所有数据的测量温度环境为摄氏20 ± 1 ℃。使用前，请仔细阅读使用说明书和安装说明书。
所有数据均为单个平台的数据，而非组装后的复合体，“复合”平台。
所有数据均为许用载荷内的值，而且载荷在平台中心，无偏载。
所有数据均为在上面板上的值。
行程为开环控制时的数据。
直动平台的重复定位精度值是采样时间为350¿s 时的闭环控制时的值；对于转动平台和摆动平台，则是开环控制时的值。
分辨率是使用FINE-01，503 时的数据。
采用FINE 控制器，改善了闭环控制时的直线性。
CL：采用位移传感器的闭环控制平台／ OP：无位移传感器的开环控制平台
规格：
型号
行程（粗调）
行程（细调）
自重
[kg]
承载能力
[N]
理论分辨率（开环）]
分辨率（闭环）
重复重复定位精度
[µm]
Y轴方向直线度
[µm]
Z轴方向直线度
[µm]
SFS-60X(CL)
320±10% （µm)
90±10% （µm)
0.37
9.8 （1kgf)
1 （nm
20 （nm)
0.1
1
0.5
SFS-60YAW(OP）
57±15% （分)
900±15% （秒)
0.31
9.8 （1kgf)
0.01 （秒)
－
－
－
－
SFS-60RP(OP)
25±15% （分)
215±15% （秒)
0.38
9.8 （1kgf)
0.005 （秒)
－
－
－
－
特征：
SFS 系列平台是我们最新开发的，利用了弹性变形和压电陶瓷驱动件的超精密定位平台。其中，有部分产品内置了位移传感器可以实现闭环控制，可以实现20nm 的分辨率，90µm 行程，320µm 的手动粗调。
我们采用了无空行程的金属弹性变形机构，以及5-6 倍的压电陶瓷变形放大机构。并采用我公司的超精密加工技术进行生产制造。
注意
所有数据的测量温度环境为摄氏20 ± 1 ℃。使用前，请仔细阅读使用说明书和安装说明书。
所有数据均为单个平台的数据，而非组装后的复合体，“复合”平台。
所有数据均为许用载荷内的值，而且载荷在平台中心，无偏载。
所有数据均为在上面板上的值。
行程为开环控制时的数据。
直动平台的重复定位精度值是采样时间为350¿s 时的闭环控制时的值；对于转动平台和摆动平台，则是开环控制时的值。
分辨率是使用FINE-01，503 时的数据。
采用FINE 控制器，改善了闭环控制时的直线性。
CL：采用位移传感器的闭环控制平台／ OP：无位移传感器的开环控制平台
规格：
型号
行程（粗调）
行程（细调）
自重
[kg]
承载能力
[N]
理论分辨率（开环）]
分辨率（闭环）
重复重复定位精度
[µm]
Y轴方向直线度
[µm]
Z轴方向直线度
[µm]
SFS-60X(CL)
320±10% （µm)
90±10% （µm)
0.37
9.8 （1kgf)
1 （nm
20 （nm)
0.1
1
0.5
SFS-60YAW(OP）
57±15% （分)
900±15% （秒)
0.31
9.8 （1kgf)
0.01 （秒)
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SFS-60RP(OP)
25±15% （分)
215±15% （秒)
0.38
9.8 （1kgf)
0.005 （秒)
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