SIGMA KOKI西格玛光机Z轴TSD不锈钢直动平台产品描述
特征：
对应M6的，平台与Z轴支架加工在一起的Z轴不锈钢平台。可在真空环境下使用。
固定平台的孔，以及台面螺孔等为M6的平台。可以方便地固定于具有M6螺纹孔的光学平台。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
移动精度直线度
[mm]
移动平行度
[mm]
垂直度
[mm]
最小读数
[mm]
最小分辨率
[mm]
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
刚度Fy"
TSDS-653L-M6
65 x 65
±6.5
0.5
0.002
0.02
0.03
0.01
0.003
29.4 （3.0kgf）
1.5
1.5
0.25
-
特征：
对应M6的，平台与Z轴支架加工在一起的Z轴不锈钢平台。可在真空环境下使用。
固定平台的孔，以及台面螺孔等为M6的平台。可以方便地固定于具有M6螺纹孔的光学平台。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
移动精度直线度
[mm]
移动平行度
[mm]
垂直度
[mm]
最小读数
[mm]
最小分辨率
[mm]
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
刚度Fy"
TSDS-653L-M6
65 x 65
±6.5
0.5
0.002
0.02
0.03
0.01
0.003
29.4 （3.0kgf）
1.5
1.5
0.25
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