日本西格玛压电陶瓷平台物镜驱动器SFS-OBL-1
特征：
它采用压电陶瓷作为驱动器，并内置了小位移传感器。 小巧，高速，高分辨率的纳米级定位装置。 具有小于1nm 的理论分辨率，行程大约为100µm。 SFS-OBL-1 是一款最适用于实验或研究用途的小型，高精度的物镜驱动器。SFS-OBL-2 是一款耐久性好，高精度的压电陶瓷物镜驱动器，适用于高速检测，激光加工机，工业自动化生产线。 FINE-01/503 控制器可控制此平台。 具有RS232C，GP-IB，USB 接口，可方便地实现计算机连接。 采用独自开发的应用软件SGMMCS，SGTERMS，SGSFSX，可方便地实现精密测量和精密定位。 适用于如扫描型干涉仪，表面结构分析，自动调焦系统，共焦显微镜，生物和半导体测试装置等。 只要交换一下适配器，就可和奥林巴斯，尼康，三丰等的物镜互换。 不同类型的显微镜，有时其安装方法也有所不同。 在您垂询时，请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称，型号以及物镜型号和安装尺寸。 规格：
对应镜片直径mm
重量【kg】
理论分辨率（开环时）【nm】
分辩率（闭环时）【nm】
直线性误差（%）
直线度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】
重复定位精度【um】
承载能力【kg】
微小变换检测
调节器
型号
外形尺寸(mm)
¢20.23
0.15
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
2
数显检测
压电石英晶体
SFS-OBL-1
75x52.5x42
特征：
它采用压电陶瓷作为驱动器，并内置了小位移传感器。 小巧，高速，高分辨率的纳米级定位装置。 具有小于1nm 的理论分辨率，行程大约为100µm。 SFS-OBL-1 是一款最适用于实验或研究用途的小型，高精度的物镜驱动器。SFS-OBL-2 是一款耐久性好，高精度的压电陶瓷物镜驱动器，适用于高速检测，激光加工机，工业自动化生产线。 FINE-01/503 控制器可控制此平台。 具有RS232C，GP-IB，USB 接口，可方便地实现计算机连接。 采用独自开发的应用软件SGMMCS，SGTERMS，SGSFSX，可方便地实现精密测量和精密定位。 适用于如扫描型干涉仪，表面结构分析，自动调焦系统，共焦显微镜，生物和半导体测试装置等。 只要交换一下适配器，就可和奥林巴斯，尼康，三丰等的物镜互换。 不同类型的显微镜，有时其安装方法也有所不同。 在您垂询时，请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称，型号以及物镜型号和安装尺寸。 规格：
对应镜片直径mm
重量【kg】
理论分辨率（开环时）【nm】
分辩率（闭环时）【nm】
直线性误差（%）
直线度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】
重复定位精度【um】
承载能力【kg】
微小变换检测
调节器
型号
外形尺寸(mm)
¢20.23
0.15
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
2
数显检测
压电石英晶体
SFS-OBL-1
75x52.5x42
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