Z轴TSD直动平台TDS-401SRZ
特征:
测微头固定在上方,专用于垂直平面(墙面等)的安装。
在钢制平台主体(下板)与移动台(上板)上对直接加工导轨,淬火后,进行导轨研磨。
导轨为R型槽,钢珠以4点接触的方式在导轨槽内滚动,对于来自所有方向的负荷,均具有稳定的负载能力。
加工、组装误差极小,可实现高精度、平滑的移动。
Z轴的操作部位于上方,因此不受安装方向的限制,具有很好的操作性能。
极大地降低了平台高度(厚度)。
规格:
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移动精度直线度
[mm]
移动平行度
[mm]
最小读数
[mm]
最小分辨率
[mm]
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
范围Fθ'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
型号
25 x 25
±3
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
9.8 (1.0kgf)
1
0.7
1.63
0.07
TSD-251SZ
25 x 25
±3
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
9.8 (1.0kgf)
1
0.7
1.63
0.07
TSD-251SRZ
25 x 25
±3
0.25
0.002
0.01
-
0.002
9.8 (1.0kgf)
1
0.7
1.63
0.07
TSD-251SZFP
40 x 40
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
19.6 (2.0kgf)
1.3
1.3
0.31
0.2
TSD-401SZ
40 x 40
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
19.6 (2.0kgf)
1.3
1.3
0.31
0.2
TSD-401SRZ
40 x 40
±6.5
0.25
0.002
0.01
-
0.002
19.6 (2.0kgf)
1.3
1.3
0.31
0.2
TSD-401SZFP
60 x 60
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
29.4 (3.0kgf)
1.5
1.5
0.2
0.5
TSD-601SZ
60 x 60
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
29.4 (3.0kgf)
1.5
1.5
0.2
0.5
TSD-601SRZ
60 x 60
±6.5
0.25
0.002
0.01
-
0.002
29.4 (3.0kgf)
1.5
1.5
0.2
0.5
TSD-601SZFP
25 x 50
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
9.8 (1.0kgf)
2
1.4
1.12
0.1
TSD-25501SZ
40 x 80
±12.5
0.5
0.002
0.01
0.01
0.003
19.6 (2.0kgf)
2.6
2.6
0.15
0.4
TSD-40801SZ
60 x 120
±20
0.5
0.002
0.012
0.01
0.003
29.4 (3.0kgf)
3
3
0.1
1
TSD-60121SZ
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