日本西格玛光机XY轴TSD不锈钢直动平台TSDS-602C
特征：
其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。 和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
规格：
型号
台面尺寸（mm）
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移动
度;直线度
[mm]
移动精度;俯仰
[arcsec]
移动精度;左右摆动
[arcsec]
平行度
[mm]
移动平行度
[mm]
最小读数
[mm
最小分辨率
[mm]
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
最大承载力矩Fθ'
[N¿m]
刚性
Fx'
[秒/N¿m]
刚性
Fy'
[秒/N¿m]
自重
[Kg]
TSDS-252C
25x25
±
3
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0gf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-252S
±
3
0.5
0.002
35
35
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0kgf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-402C
40x40
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-402S
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-602C
60x60
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
TSDS-602S
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
特征：
其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。 和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
规格：
型号
台面尺寸（mm）
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移动
度;直线度
[mm]
移动精度;俯仰
[arcsec]
移动精度;左右摆动
[arcsec]
平行度
[mm]
移动平行度
[mm]
最小读数
[mm
最小分辨率
[mm]
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
最大承载力矩Fθ'
[N¿m]
刚性
Fx'
[秒/N¿m]
刚性
Fy'
[秒/N¿m]
自重
[Kg]
TSDS-252C
25x25
±
3
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0gf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-252S
±
3
0.5
0.002
35
35
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0kgf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-402C
40x40
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-402S
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-602C
60x60
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
TSDS-602S
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
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