日本西格玛 SIGMA KOKI XY轴TSD不锈钢直动平台 TSDS-402C

日本西格玛 SIGMA KOKI XY轴TSD不锈钢直动平台 TSDS-402C

2018-12-25 11:20:28  

日本SIGMA KOKI西格玛光机X轴TSD不锈钢直动平台TSDS-402C产品描述 特征: 其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。 和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场

日本SIGMA KOKI西格玛光机X轴TSD不锈钢直动平台TSDS-402C产品描述

特征:


其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。 和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场合。
规格:


型号

台面尺寸(mm)

行程
[mm]

螺距
[mm/rotation]
移动


度;直线度
[mm]

移动精度;俯仰
[arcsec]

移动精度;左右摆动
[arcsec]

平行度
[mm]

移动平行度
[mm]

最小读数
[mm

最小分辨率
[mm]

承载能力Fz'
[N]

最大承载力矩Fx'
[N¿m]

最大承载力矩Fy'
[N¿m]

最大承载力矩Fθ'
[N¿m]

刚性

Fx'

[秒/N¿m]

刚性

Fy'
[秒/N¿m]

自重
[Kg]

TSDS-401C

40x40

±

6.5

0.5

0.002

30

25

0.03

0.01

0.01

0.003
147(15.0gf)

3.9

3.9

2.5

0.36

0.3

0.2

TSDS-402C

40x40

±

6.5

0.5

0.002

30

25

0.05

0.02

0.01

0.003
147(15.0kgf)

3.9

3.9

2.5

0.66

0.66

0.3
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