日本西格玛光机SIGMA KOKI Z轴TSD不锈钢直动平台(水平台面型)TSDS-253产品描述：
特征：
移动台面为水平的Z轴TSD不锈钢直动平台。
其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。
它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。
它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
规格参数：
型号
台面尺寸
mm
行程
mm
螺距
[m/rotation]]
移动精度直线度
[mm]]
平行度
[N]
移动平行度
[mm]
最小读数
[mm]
最小分辨率
[mm
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSDS-253
25 x 25
±3
0.5
0.01
0.08
0.015
0.01
0.003
29.4 （3.0kgf）
1
1
7.14
7.14
0.1
TSDS-403
40 x 40
±3
0.5
0.005
0.08
0.02
0.01
0.003
88.3 （9.0kgf）
3.9
3.9
1.84
1.84
0.25
TSDS-603
60 x 60
±5
0.5
0.005
0.08
0.025
0.01
0.003
147.0 （15.0kgf）
6.9
6.9
0.51
0.51
1
特征：
移动台面为水平的Z轴TSD不锈钢直动平台。
其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。
它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。
它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
规格参数：
型号
台面尺寸
mm
行程
mm
螺距
[m/rotation]]
移动精度直线度
[mm]]
平行度
[N]
移动平行度
[mm]
最小读数
[mm]
最小分辨率
[mm
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSDS-253
25 x 25
±3
0.5
0.01
0.08
0.015
0.01
0.003
29.4 （3.0kgf）
1
1
7.14
7.14
0.1
TSDS-403
40 x 40
±3
0.5
0.005
0.08
0.02
0.01
0.003
88.3 （9.0kgf）
3.9
3.9
1.84
1.84
0.25
TSDS-603
60 x 60
±5
0.5
0.005
0.08
0.025
0.01
0.003
147.0 （15.0kgf）
6.9
6.9
0.51
0.51
1
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