日本西格玛精密压电陶瓷平台SFS-H60XYZ(CL)
特征：
SFS-H 系列是在原来的SFS 系列的基础上，提高了承载能力和响应速度而开发的压电陶瓷平台。 它采用压电陶瓷作为驱动件，可以实现开环控制时的行程为90µm-100µm，理论分辨率为1nm 的微小移动。采用了位移传感器（频率-位移转换方式的小位移传感器），在闭环控制时，实现了10nm 的显示分辨率。 和FINE 系列控制器一起使用，可以实现优于0.5%的直线性和高速化。SFS-H60X、40X 可以实现往复运动的频率为10-15Hz（全行，闭环控制时）。 这是一款最适用于需要高速，高精度定位的装置或实验用途的平台。 注意
此平台的技术参数是指环境温度为20 ± 1 ℃时的值。请在使用之前仔细阅读操作说明书和安装手册等资料。 技术指标是指单个平台时的测量值，而不是和其他零部件组合后的测量值。 技术指标是指在额定载荷，并且是在平台中心承载时的值，而不是指偏载时的值。 精度值是平台正常水平安装使用时的值，如果您需要倒置或垂直使用，请事先向我们确认。 精度值是指平台台面附近的值。 行程是指开环控制时的值。 直线性精度依据的是西格玛光机的测量法。 重复定位精度是闭环控制，采样时间为350¿s 时的值。 分辩率是使用FINE-01 或503 时的值。 规格：
行程（细调）【um】
自重【kg】
理论分辨率（开环时）【nm】
分辩率（闭环时）【nm】
直线性误差（%）
直线度水平方向【um】
重复定位精度【um】
承载能力【kg】
型号
100±15
0.33
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
1
SFS-H60Z
100±15
0.63
1
10
0.5以下
1以下
0.15以下
1
SFS-H60XYZ
特征：
SFS-H 系列是在原来的SFS 系列的基础上，提高了承载能力和响应速度而开发的压电陶瓷平台。 它采用压电陶瓷作为驱动件，可以实现开环控制时的行程为90µm-100µm，理论分辨率为1nm 的微小移动。采用了位移传感器（频率-位移转换方式的小位移传感器），在闭环控制时，实现了10nm 的显示分辨率。 和FINE 系列控制器一起使用，可以实现优于0.5%的直线性和高速化。SFS-H60X、40X 可以实现往复运动的频率为10-15Hz（全行，闭环控制时）。 这是一款最适用于需要高速，高精度定位的装置或实验用途的平台。 注意
此平台的技术参数是指环境温度为20 ± 1 ℃时的值。请在使用之前仔细阅读操作说明书和安装手册等资料。 技术指标是指单个平台时的测量值，而不是和其他零部件组合后的测量值。 技术指标是指在额定载荷，并且是在平台中心承载时的值，而不是指偏载时的值。 精度值是平台正常水平安装使用时的值，如果您需要倒置或垂直使用，请事先向我们确认。 精度值是指平台台面附近的值。 行程是指开环控制时的值。 直线性精度依据的是西格玛光机的测量法。 重复定位精度是闭环控制，采样时间为350¿s 时的值。 分辩率是使用FINE-01 或503 时的值。 规格：
行程（细调）【um】
自重【kg】
理论分辨率（开环时）【nm】
分辩率（闭环时）【nm】
直线性误差（%）
直线度水平方向【um】
重复定位精度【um】
承载能力【kg】
型号
100±15
0.33
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
1
SFS-H60Z
100±15
0.63
1
10
0.5以下
1以下
0.15以下
1
SFS-H60XYZ
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