特点●可测定零件¿基板由于加热而形成的膨胀及变形●因为可以按照X-Y轴方向移动下方的激光变形计，所以实现了连续变形的测试●可以将温度及时间任意设定19点、在其状态下确认变位测定●适用专业用软件可以解析曲线数据¿和变形测定数据●通过结合录像观察系统、可以观察焊锡的溶化过程（选项）
【规格】
【本体装置规格】
项目
规格
对象基板尺寸 长：70W×70L mm 高：保持面上 10mm以下 装置尺寸 652W×411D×425Hmm 加热方式 上面：热风¿远红外线辐射过热 下面：远红外线辐射加热 冷却方式 外部气体（氮气或空气）导入冷却用流量调整弁付 电源 3相 200V 50/60Hz 1.5kVA 外部气体 0.3～0.5MPa 100升/min (MAX) 炉内氧气浓度 (氮气使用时) 最低100ppm 基板托盘 平托盘 上面加热 热风式：约675W(约75W×3本×3列)※可以对标准管口进行偏差设定红外线加热器：约300W 下面加热 红外线加热器：约240W 温度精度 5℃以内 (最大基板中央 50W×50L mm范围内) 测定温度 常温～330℃ 测定点数 3点 氮气供给机能 流量调整阀 ：100升/min 重量 约50kg
【计测机能规格】
项目
规格
计测方法 通过激光変位計有效计测下面的变位 测定范围 X轴方向：最大70mmY轴方向：最大70mmZ轴方向：标准点0～3mm 变位计分辨能 最大0.2µm X-Y轴驱动速度 最大45mm/s（加減速度除外） 测定点 最大19点（以在任意的时间及温度内连续的计测指定范围）
【规格】
【本体装置规格】
项目
规格
对象基板尺寸 长：70W×70L mm 高：保持面上 10mm以下 装置尺寸 652W×411D×425Hmm 加热方式 上面：热风¿远红外线辐射过热 下面：远红外线辐射加热 冷却方式 外部气体（氮气或空气）导入冷却用流量调整弁付 电源 3相 200V 50/60Hz 1.5kVA 外部气体 0.3～0.5MPa 100升/min (MAX) 炉内氧气浓度 (氮气使用时) 最低100ppm 基板托盘 平托盘 上面加热 热风式：约675W(约75W×3本×3列)※可以对标准管口进行偏差设定红外线加热器：约300W 下面加热 红外线加热器：约240W 温度精度 5℃以内 (最大基板中央 50W×50L mm范围内) 测定温度 常温～330℃ 测定点数 3点 氮气供给机能 流量调整阀 ：100升/min 重量 约50kg
【计测机能规格】
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计测方法 通过激光変位計有效计测下面的变位 测定范围 X轴方向：最大70mmY轴方向：最大70mmZ轴方向：标准点0～3mm 变位计分辨能 最大0.2µm X-Y轴驱动速度 最大45mm/s（加減速度除外） 测定点 最大19点（以在任意的时间及温度内连续的计测指定范围）
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