● 世界最高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米
●3D成像，高精度测量，Z轴最小读数精度0.01微米。
●实时像的获得和测量同时。
●408nm激光采用
激光扫描共焦显微镜OLS3000可进行如下检测: 1）测量 2D测量：最佳测量范围1.5mm～1 µm；
不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。 3D测量：最佳测量范围1mm～0.5 µm；
体积、容积、表面积等3D测量；可测量透明膜厚度。 粗糙度分析：最适合于Rz0.1 µm 程度的粗糙度分析；
不公是线粗糙度，面粗糙度也能检测。 2）3D形貌 能获得3D色彩等多种多样的信息 等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。 利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。 3）高分辨率观察 显示器倍率为14，400倍。接近SEM的放大率。 接近SEM的高对比度的解像度。 可以分辨常规显微镜所不能的0.12 µm 的LINE和SPACE 利用微分干涉进一步提高分辨率。 实时观察。 最大观察范围是2，560X2，560µm
●3D成像，高精度测量，Z轴最小读数精度0.01微米。
●实时像的获得和测量同时。
●408nm激光采用
激光扫描共焦显微镜OLS3000可进行如下检测: 1）测量 2D测量：最佳测量范围1.5mm～1 µm；
不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。 3D测量：最佳测量范围1mm～0.5 µm；
体积、容积、表面积等3D测量；可测量透明膜厚度。 粗糙度分析：最适合于Rz0.1 µm 程度的粗糙度分析；
不公是线粗糙度，面粗糙度也能检测。 2）3D形貌 能获得3D色彩等多种多样的信息 等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。 利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。 3）高分辨率观察 显示器倍率为14，400倍。接近SEM的放大率。 接近SEM的高对比度的解像度。 可以分辨常规显微镜所不能的0.12 µm 的LINE和SPACE 利用微分干涉进一步提高分辨率。 实时观察。 最大观察范围是2，560X2，560µm
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