ECLIPSE 一般型三次元测定机（标准型） X、Y轴采用优良陶瓷，具重量轻、硬度高、低膨胀系数等优良之物理性质。 Z轴采气压平衡系统，具备断电断气Z轴自动锁定防止掉落之设计。 精度U1=(2.4+L/250) µm ，U3=(2.9+L/250) µm。 采用方形空气轴承，支撑面积大，可降低机器移动时惯性影响。 适合于弹性制造系统。 最小读取值0.5µm。 可采用电子探头、CCD光学探头。
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