型 号 名
IPV
型 号
NM-TD10
NM-TD15
基板尺寸
L50mm×W50mm~L330mm×W250mm
L50mm×W50mm~L510mm×W460mm
检查节拍*1
扫描时间:0.09Ls(X-Y分辩率20µm时)0.045Ls(X-Y分辩率40µm时)检查时间:0.007s/点
基板更换时间
6.5 s (基板尺寸而异)
分辨能力
X-Y分辩率:20/40 µm(可以更换) Z分辩率:10µm(固定)
电 源
单相AC 100V, 6 kVA
空 压 源*2
0.5MPa, 40L/min(A.N.R)
设备尺寸*3
长1 504mm×宽812mm×高1 500mm*3
长1 933mm×宽1 042mm×高1 500mm*3
重量
650kg
1 100kg
* 插件速度等值,会随条件而异
* 详情,请参照规格说明书
*1:有条件、L是X方向扫描长度(mm)
*2:也可对应三相 110/115/120/130/200/220/230/240/260 V
*3:不包括信号塔
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