精度可达U1=(1.3+L/350) µm,LS=(1.8+L/350) µm。 适合较宽松之量测环境(18℃~28℃)。 全世界唯一采用动态计算机辅助精度设计,减少动态量测误差。 Z轴采用CARAT技术材质,稳定性高。 采用世界上最稳定ZERODUR光学尺,低膨胀系数,
解析力:0.5µm。 可选择触发式、旋转式及扫描式探头。
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