粘贴机
MODEL-3200
MODEL-3250
可以处理最大 8 英寸的晶圆。
晶圆边缘的胶带切割精度可在距离边缘 127 微米以内实现高精度。
此外，粘贴/剪切一张纸的工作时间约为20秒，有助于提高工作效率。
薄膜分离器卷绕/静电对策也可用。
产品概述
这是一种将 BG 胶带应用于晶圆的设备。可以均匀涂抹，不会产生气泡。
晶圆边缘的胶带切割精度可在距离边缘 127 微米以内实现高精度。
粘贴/剪切一张纸的工作时间约为20秒，有助于提高工作效率。
胶带分离器缠绕/防静电措施也是可能的。
规范
| 设备型号 | 型号-3200 | 型号-3250 |
|---|
| 对应晶圆尺寸 |
|
|
|---|
| 重量 | 36公斤 | 45公斤 |
|---|
| 高度 | 280mm | 280mm |
|---|
| 深度 | 711mm | 812mm |
|---|
| 宽度 | 381毫米 | 432mm |
|---|
| 真空 | 85 千帕 | 85 千帕 |
|---|
