一手价格 ULVAC 爱发科 LR60 LR90 干泵

2025-12-31 16:26:44 周海峰





多级罗茨型干泵

LR60

LR90

LR180

LR421

LR421-T

LR300

LR600

LR1200

LR1800

LR3601

LR3601-T(TT)

LR3601-R

LR3601-TR(TTR)


用途

成膜装置(溅射装置/蒸镀装置等)
缩短备料下料室的排气时间
作为辅助排气泵(涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气)


规格

型号LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排气速度
50Hz62 m3/h
(1030 L/min)
112 m3/h
(1860 L/min)
183 m3/h
(3100 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)
126 m3/h
(2100 L/min)
237 m3/h
(3950 L/min)
到达压力5.0 Pa
最大排气压力 (吸入圧力) 大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排气口KF40VG50
质量180 kg245 kg335 kg415 kg
电源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)



型号LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)
LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵
LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
机械
增压泵
PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)
PRC-036DPRC-036D
(D-T)
最大
排气
速度
50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)
653 m3/h
(10,900
L/min)
1,012 m3/h
(16,900
L/min)
1,701 m3/h
(28,350
L/min)
3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)
701 m3/h
(11,700
L/min)
1,051 m3/h
(17,500
L/min)
1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到达压力0.67 Pa
最大排气压力
(吸入圧力)
大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG80
(KF80)
VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排气口KF40KF50
MBP表面处理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
质量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
电源
*2
三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)


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