真空角阀
VLHｰSB020JH
规格
型号 VLH-SB
阀板容许最大差压（正压/逆压）MPa 0.10
开阀时允许最大压差（正压/逆压）MPa 0.10
阀板密封方式 〇戒指
轴密封方式 波纹管
驱动方式 手动
泄漏量（外部）*1Pam3/s ≦1.0E-10
泄漏量（内部）*1Pam3/s ≦1.0E-10
使用压力范围（绝对压力）Pa 大气压～1.0E-6
允许烘烤温度（静止时）*2℃ 主机：150*3，驱动部：70
工作环境温度℃ 5～70
使用流体温度℃ 5～70
加热及冷却速度℃/h ≦30
使用环境 非腐蚀性气氛
使用流体 非腐蚀性流体
气缸供给压力空压力MPaG 一
保修动作次数*4 10,000
运行姿势 自由
开关传感器 一
真空侧主要部件材质 SUS304
大气侧主要部件材质 SUS304,AL-6061（铝酸盐）
波纹管材质 SUS316L
密封部件材质（真空侧） FKM
油脂类（真空侧） 无润滑油
吊具安装部 无*5
