一、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品介绍：
MFC/MFM等有精度，重复性，反应速度，甚至价格也有要求。它适合半导体，光缆，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，食品，环境测试，燃烧气体控制，工程设备，试验设备等各个环节，各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计（以下简称TME）是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。
型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。
二、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品特点：
1、通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
2、通用的常闭型阀门确保了安全
3、使用电磁执行器保证了高效的可靠性
4、低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
三、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品参数：
F.S.量程
(N2换算)
10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
阀门种类
常闭电磁阀
控制范围
应答性
精度
重复性
2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
设定±2%F.S.至2秒以内（标准）
±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）
±0.5%F.S.以内
压力
耐压
980kPa
操作
差压
F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
5
使用温度
5°C-45°C
连接气体
部分材料
SUS316、氟橡胶、
氯丁橡胶（选购件）
电力连接
Dsub9个引脚公玡 KFC/SEMI
标准
输入流量信号
0-5VDC
输出流量信号
0-5VDC
需求电源供给
+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA
MFC/MFM等有精度，重复性，反应速度，甚至价格也有要求。它适合半导体，光缆，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，食品，环境测试，燃烧气体控制，工程设备，试验设备等各个环节，各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计（以下简称TME）是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。
型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。
二、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品特点：
1、通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
2、通用的常闭型阀门确保了安全
3、使用电磁执行器保证了高效的可靠性
4、低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
三、KOFLOC 标准质量流量控制器3660系列产品参数：
F.S.量程
(N2换算)
10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
阀门种类
常闭电磁阀
控制范围
应答性
精度
重复性
2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
设定±2%F.S.至2秒以内（标准）
±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）
±0.5%F.S.以内
压力
耐压
980kPa
操作
差压
F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
5
使用温度
5°C-45°C
连接气体
部分材料
SUS316、氟橡胶、
氯丁橡胶（选购件）
电力连接
Dsub9个引脚公玡 KFC/SEMI
标准
输入流量信号
0-5VDC
输出流量信号
0-5VDC
需求电源供给
+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA
精工汇-日本工业品一站式采购|MRO综合服务商|工业品采购-精工汇|藤野贸易（广州）有限公司
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