OLYMPUS AL110/MX61 产品特性 ● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)
● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)
● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性
● 灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率
● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)
OLYMPUS AL110规格： 型号 200mm型 200/150mm
兼容型 100/125/150mm
兼容型 项目 L LM LB MB LMB L LM LB MB LMB L LM LMB 晶圆直径 200晶圆边
200mm切口 √ √ 150mm晶圆平边 √ 100/125/150mm
晶圆平边 √ 观察方式 连续和采样 √ 转换方式 正面宏观检测 √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 背面宏观检测 √ √ √ √ √ √ √ √ 2次背面检测 √ √ √ √ √ √ √ 表面显微观测 √ √ √ √ √ √ √ 适用显微镜 MX61/MX61L型 √ 规格(mm) 580(W)*580(D)*297(H) 490(W)*520(D)*297(H) 重量(kg) 30 32 31 31 33 30 32 31 31 33 26 28 30 能耗 电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa
● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)
● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性
● 灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率
● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)
OLYMPUS AL110规格： 型号 200mm型 200/150mm
兼容型 100/125/150mm
兼容型 项目 L LM LB MB LMB L LM LB MB LMB L LM LMB 晶圆直径 200晶圆边
200mm切口 √ √ 150mm晶圆平边 √ 100/125/150mm
晶圆平边 √ 观察方式 连续和采样 √ 转换方式 正面宏观检测 √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 背面宏观检测 √ √ √ √ √ √ √ √ 2次背面检测 √ √ √ √ √ √ √ 表面显微观测 √ √ √ √ √ √ √ 适用显微镜 MX61/MX61L型 √ 规格(mm) 580(W)*580(D)*297(H) 490(W)*520(D)*297(H) 重量(kg) 30 32 31 31 33 30 32 31 31 33 26 28 30 能耗 电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa
精工汇-日本工业品一站式采购|MRO综合服务商|工业品采购-精工汇|藤野贸易（广州）有限公司
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