1.光,高强度气体放从蒸汽和金属卤化物灯离解产生的大部分产品的混合物。特别适用于治疗大面积有用。
2.特点
基于高压紫外线灯,加上卤化物,金属卤化物灯。液体抵御风险和UV油墨光固化是光刻的理想选择。可供参考的其他波长。
3.发射光谱
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